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FIB-SEM
雙束電鏡（FIB-SEM）是一款集成了電子束和離子束的電子顯微鏡系統(tǒng)。SEM 鏡筒提供高分辨成像能力，F(xiàn)IB 鏡筒能在成像的同時對樣品進行加工處理。雙束電鏡系統(tǒng)開創(chuàng)了一種全新的應用方式。

雙束電鏡系統(tǒng)的配置使得電子束和離子束的聚焦點重合，這在很多應用中可以獲得最優(yōu)化的結(jié)果。這一特點也使得儀器在完成 FIB 銑削任務的同時，可以進行 SEM 實時成像----這對于精度要求極高的 FIB 操作有很大幫助，使得操作性能和工作效率實現(xiàn)重大飛躍。

TESCAN 提供兩種不同的 FIB 離子源：鎵離子和氙等離子體。Ga 離子源 FIB 適用于所有在制造和納米加工中需要極高精度的應用。另一方面，Xe 等離子體 FIB 具有超高離子束流，能夠以高于 Ga-FIB 50倍的效率去除大量材料。在精度方面，我們的高分辨率 Xe 等離子 FIB 可以實現(xiàn)< 15 nm的分辨率，適用于同時要求高效率和高精度的精細加工任務。

產(chǎn)品型號（點擊型號鏈接可查看詳細介紹）：

TESCAN AMBER
TESCAN SOLARIS
TESCAN AMBER X
TESCAN SOLARIS X

適用領域

半導體和微電子：球柵陣列、硅通孔、引線焊接、微機電系統(tǒng)
材料科學：鋼鐵及合金、陶瓷及硬質(zhì)涂層、玻璃、聚合物及復合材料、土木工程和建筑材料、木材，紡織品及紙張
生命科學：生物醫(yī)學工程、細胞&組織形態(tài)學、微生物學、制藥技術、植物和動物科學、亞細胞分析、環(huán)境和食品科學
地球科學：巖石學 & 礦物學、古生物學、礦物加工、廢物回收、

我們提供多種配置的 FIB-SEM 系統(tǒng)，能夠滿足從常規(guī)工業(yè)應用到先進和具有挑戰(zhàn)性的工藝應用，這些應用要求在成像和微/納米機械的復雜工作流程方面達到很高的標準。