TESCAN SOLARIS 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng)，適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，這些任務(wù)要求設(shè)備具有良好的分辨率、先進(jìn)的離子光學(xué)系統(tǒng)和納米加工能力。TESCAN SOLARIS 的 Triglav? 型 SEM 鏡筒具有超高的分辨率，特別是在低電壓下；鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)具有電子信號(hào)過濾能力，為獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度翻開了全新的篇章。TESCAN SOLARIS 的 Orage? 型 FIB 鏡筒提供不僅為納米加工提供了良好的精度，還具備很高的離子束流，因此可以滿足大體積加工和分析的需求。
出色的低電壓離子束分辨率和性能使得 TESCAN SOLARIS 有能力制備小于 20 nm 的、半導(dǎo)體器件良好質(zhì)量的超薄 TEM 樣品。此外，高達(dá) 100 nA 的大離子束流可以對(duì)生物樣品和材料進(jìn)行指定位置的、大體積 FIB-SEM 逐層掃描，圖像也具有出色的襯度。TESCAN SOLARIS 使用了全新的 Essence? 軟件，軟件用戶界面友好，可以滿足各類應(yīng)用需求，可定制的軟件布局以及自動(dòng)化的樣品制備功能，最大限度地提升了操作便捷性和工作效率。
主要優(yōu)勢(shì)
良好的樣品制備質(zhì)量
Orage? FIB 鏡筒采用先進(jìn)的離子光學(xué)設(shè)計(jì)，在整個(gè)電壓范圍內(nèi)均可以保證良好的分辨率，同時(shí)還可以提供多種樣品制備條件。低電壓下的出色性能使得該 FIB 鏡筒可以執(zhí)行具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，它可以在低電壓下完成最后拋光并獲得小于 20 nm 且具有高品質(zhì)的超薄 TEM 樣品。
高效的制備各類樣品
Orage? 鏡筒能夠產(chǎn)生高達(dá) 100 nA 的離子束流，同時(shí)保證離子束的質(zhì)量。因此，無論是在低離子束流下制備精密的納米結(jié)構(gòu)，還是利用高離子束流以滿足大體積蝕刻的要求，Orage?鏡筒良好的多功能性都可以滿足該類應(yīng)用需求。
具有高品質(zhì)的納米加工
越來越多的 FIB 應(yīng)用需要在低電壓下完成，Orage? 鏡筒的最低電壓可至 500 V，因此可以進(jìn)行更微量的加工，例如完成 TEM 樣品的最終拋光，盡可能減少非晶化。該樣品制備方法同樣適用于 制備 EBSD 分析的樣品，或用于對(duì)去層之后完成最終拋光的小于 20 nm 芯片的結(jié)構(gòu)表征。
更充分的利用離子束
快速、高效、高性能的氣體注入系統(tǒng)（GIS）對(duì)于所有 FIB 應(yīng)用都是必不可少的。新一代 OptiGIS? 單支氣體注入系統(tǒng)具備了所有的這些特性，TESCAN SOLARIS 可配備多達(dá) 3 支 OptiGIS。您也可以選擇集成了 5 支同軸噴嘴的氣體注入系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)更多樣化的功能。此外，我們還可以提供不同的特殊氣體和實(shí)用的平面IC去層方案。
輕松實(shí)現(xiàn)高精度和良好的 FIB 性能
Orage? 型 FIB 鏡筒配有超穩(wěn)定的高壓?jiǎn)卧途_的壓電驅(qū)動(dòng)光闌變換器，可在 FIB 預(yù)設(shè)的參數(shù)上快速且高精度的重復(fù)切換。 此外，半自動(dòng)的束斑優(yōu)化向?qū)г试S用戶輕松選擇理想的束斑，優(yōu)化特定應(yīng)用下的 FIB 條件。
更加優(yōu)秀的成像能力
新一代 Triglav? 鏡筒中的鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)經(jīng)過進(jìn)一步優(yōu)化，信號(hào)檢測(cè)效率提高了三倍以上。此外，該系統(tǒng)還擴(kuò)展了檢測(cè)能力，能夠采集能量過濾后的軸向背散射電子信號(hào)，這樣就可以通過選擇性地收集低損耗背散射電子來獲得更好的襯度和表面靈敏度。
增強(qiáng)的表面靈敏度、襯度
新一代Triglav? 鏡筒可以提供的電子信號(hào)選擇檢測(cè)功能，這一功能可以幫助用戶獲得更好的表面靈敏度并能夠獲得不同的襯度。圖像中可以體現(xiàn)形貌或是3材料成分，也可以同時(shí)體現(xiàn)這兩者，以便用戶能夠在最短時(shí)間內(nèi)最大限度地觀察樣品。
快速三維分析功能
新型強(qiáng)化的鏡筒內(nèi)探測(cè)系統(tǒng)結(jié)合高達(dá) 100 nA 的大離子束流，可實(shí)現(xiàn)快速數(shù)據(jù)采集，用于 3D 超微結(jié)構(gòu)研究和 3D 微量分析表征。在 FIB-SEM 層析成像過程中，能夠同時(shí)獲得 EDS 和 EBSD 數(shù)據(jù)，并通過專用軟件進(jìn)行三維重構(gòu)，為生命科學(xué)或納米材料研究者提供獨(dú)特的視角和結(jié)果。
保證良好的分析條件
新一代 Triglav?鏡筒還具有自適應(yīng)束斑優(yōu)化功能，可以提高了大束流下的分辨率，這一特點(diǎn)有利于更好的進(jìn)行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。此外，肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生高達(dá) 400 nA 的電子束流，電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應(yīng)用下都能夠獲得良好的信號(hào)；在進(jìn)行大離子束流加工時(shí)，也可針對(duì)不導(dǎo)電試樣進(jìn)行電荷中和。
大晶圓分析
優(yōu)化的 60° 物鏡設(shè)計(jì)和超大樣品室，保證在 6” 8” 晶圓的任何位置都能夠進(jìn)行無死角的 SEM 和 FIB 分析。
讓復(fù)雜的應(yīng)用變的非常的簡(jiǎn)單
新一代 TESCAN Essence? 是一款簡(jiǎn)化的、支持多用戶的軟件，它的布局管理器可以幫助用戶快速、方便地訪問所有主要功能。軟件界面可自定義，以更好地適應(yīng)特定的應(yīng)用方向，符合不同用戶的使用偏好。軟件的各種功能模塊、向?qū)Ш蛻?yīng)用方案使得無論是入門級(jí)用戶或是專家級(jí)用戶都能夠輕松順暢的體驗(yàn) FIB-SEM 應(yīng)用，從而提高工作效率，加快樣品的處理速度。TESCAN Essence? 還提供先進(jìn)的 DrawBeam? 功能，基于矢量的掃描發(fā)生器，用于進(jìn)行快速精確的 FIB 加工和電子束光刻。
